新品到货！我司近期到货ULVAC爱发科日本进口高频电源系统RMG-1303

新品到货！我司近期到货ULVAC爱发科日本进口高频电源系统RMG-1303

RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射频电源，内置输出匹配器，适用于射频溅射和等离子 CVD 蚀刻等等离子体工艺。 匹配器和射频电源的集成使其小、 轻。 它可以从低输出进行控制，并且可以用于广泛的领域，从研发应用到批量生产设备。

特点

功率低至1W即可控制

标配 500Hz~100kHz 脉冲射频输出功能 能够以低输出功率进行控制

标配外部同步引脚

单相100V~220V / 50Hz~60Hz输入范围广

200mm×200mm×350mm/10kg，小巧轻便的电源

符合CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS标准

规格

Model：RMG-1303

电源功能部分：输入电压：单相的 AC100-220V

                                额定输入容量：700VA 或更低

                                振荡频率：13.56MHz±0.01% *1

                                额定行波功率：300W (50Ω负载下)

匹配函数部分：额定功率300W

                                额定电流10Arms

                                额定电压2500Vpp/-2500Vdc(标准) *1

输出电极/选项：2-M4(标准)/N,HN,DIN7/16 *2