近期，我司新品发布日本现货ULVAC爱发科发电电源MEX-N

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核心产品线‌

ULVAC的产品体系覆盖真空系统全链条，主要分为四大类：

‌1. 真空泵与真空系统‌

‌2. 薄膜沉积与镀膜设备‌

• ‌磁控溅射系统‌：

• ‌ENTRON-EXX‌：多腔体集群式PVD系统，支持多12个模块灵活组合，用于Micro-OLED、先进封装的金属化工艺。

• ‌SME、SRH、SMV系列‌：适用于半导体晶圆、PCB互连层、光学薄膜的高精度溅射。

• ‌热蒸发系统‌：用于有机材料（如OLED发光层）的高纯度蒸镀。

• ‌CVD/ALD系统‌：提供薄膜均匀性控制，满足2.5D/3D封装需求。

‌3. 等离子体处理设备‌

• ‌灰化/去胶系统‌：

• ‌Luminous NA系列‌：无晶圆尺寸限制，专用于先进封装中光刻胶残留，支持晶圆与面板（大600mm）处理。

• ‌ENVIRO Optima‌：高 ash rate（>12 µ/min），适用于HDI、TSV等高密度互连结构。

• ‌等离子体刻蚀与清洗‌：用于半导体前道工艺中的表面活化与污染物去除。

‌4. 高纯靶材与材料‌

• ‌产品类型‌：高纯度Cu、Al、Mo、Ti、Ta、Nb、Zr及其合金靶材。

• ‌应用领域‌：

• 液晶面板（FPD）

• 太阳能电池（CIGS、PERC）

• 半导体互连层（Cu damascene）

• ‌技术优势‌：苏州公司拥有58项，涵盖靶材加工、吊装、焊接等工艺，“专精特新”企业。

‌主要应用领域‌