近期,我司新品发布日本到货MIYUKI美幸辉真空泄压阀BAR-C200
近期,我司新品发布日本到货MIYUKI美幸辉真空泄压阀BAR-C200
日本MIYUKI美幸辉是一家专注于高精度真空与流体控制系统的日本工业设备制造商,其产品主要服务于半导体、光伏、真空镀膜、科研实验室等制造与科研领域,以高洁净度、超低泄漏率、精密控制为核心技术优势。
核心产品线
关键技术指标
泄漏率:轴封泄漏率低至 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足半导体级洁净要求
压力范围:覆盖 大气压(10⁵ Pa)至高真空(10⁻⁵ Pa)
材质标准:接触介质部件均为 SUS304不锈钢,耐腐蚀、低颗粒析出
工作温度:阀体耐热达 150℃,电机部分耐热 40℃
控制响应:蝶阀开启/关闭时间 ≤1秒,支持连续开度调节(0°~90°)
产品设计哲学
无尘化设计:执行机构无金属滑动部件,从源头抑制微粒污染
模块化架构:阀体与执行器符合ISO 5211标准,便于维护与升级
高可靠性:通过超50万次寿命测试,适用于24/7连续运行的产线环境
智能集成:支持与PLC、SCADA系统通信,适配工业4.0自动化需求
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