新品发布!我司近期到货ULVAC爱发科内置匹配器的高频电源RMG-1303
新品发布!我司近期到货ULVAC爱发科内置匹配器的高频电源RMG-1303

RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射频电源,内置输出匹配器,适用于射频溅射和等离子 CVD 蚀刻等等离子体工艺。 匹配器和射频电源的集成使其小、轻。 它可以从低输出进行控制,并且可以用于广泛的领域,从研发应用到批量生产设备。
通过形成各种薄膜可以创造附加价值,这些薄膜被应用于我们日常生活中常见的产品。相关行业广泛,涵盖半导体、电子设备、显示器、可再生能源、存储设备和汽车等多个领域。在成膜过程中,选择合适的薄膜材料和工艺很重要。此外,考虑到生产效率和质量,选择适当的电源也是一个重要因素。
成膜工艺包括PVD(如溅射)、CVD、刻蚀和灰化等,工艺需要配备合适的电源。根据所采用的工艺和薄膜类型,所需的电源可能有所不同。因此,充分了解每种电源的特点,并根据目标选择合适的电源显得很重要。
例如,在需要高精度薄膜或应对大规模生产时,使用满足特定要求的电源。此外,组合使用多种电源也是常见做法,这通常结合了公司的经验。这里介绍的工艺与电源的对比表仅作为一般参考资料,并未涵盖所有工艺和应用。根据具体用途,慎重选择适合的电源很重要。

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