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日本PILLAR皮拉P-PMU穿板直通接头,实现舱板隔离式洁净管路贯通方案

2026-10-26 16:46 来源: 美萨科技(苏州)有限公司

近日,我司推出了日本 PILLAR(皮拉) SUPER300 系列 P-PMU S300 穿板直通接头,专为半导体、显示面板湿法设备舱体隔层配管场景打造,解决管路穿越设备面板、隔板时的密封与隔离难题,提升洁净流体跨腔转接配件矩阵,为超纯水、高纯药液输送提供一体化穿板解决方案。

日本PILLAR皮拉P-PMU穿板直通接头,实现舱板隔离式洁净管路贯通方案

日本 PILLAR 皮拉是专注氟树脂超高纯流体元件研发制造的老牌厂商,深耕半导体、显示面板、光伏湿法制程领域,主打 SUPER300 系列 PFA 压入式管路接头、阀件、高纯管材等产品。品牌以自研无垫片压入密封结构为核心优势,产品采用高纯 PFA 一体成型,耐强腐蚀、低离子与颗粒析出,出厂经过严苛洁净管控,无需密封圈与密封辅料,规避辅料污染风险,适配超纯水、各类电子级药液输送工况,凭借稳定密封性能、良好的重复性拆装能力,成为高纯流体配管领域认可度较高的方案品牌。

P-PMU S300 属于面板安装式压入直通接头,两端均为标准压入端口,适配同规格 PFA、PTFE 高纯软管,本体自带锁紧结构,可直接固定在设备隔板、机台舱板之上,将管路在相互隔离的两个腔室之间贯通。在湿法清洗设备中,洁净腔与外部模组、药液供给腔与回收腔相互分隔,管路需要穿墙贯穿,传统方案容易出现板位密封不严、错位渗漏、拆装困难等问题。这款穿板直通集成固定基座与管路对接功能,一次性完成管路贯通与板面密封固定,减少额外转接零件,规避多点泄漏风险,满足机台模块化、分区隔离的设计需求。

接头接液主体采用高纯 PFA 一体成型,在无尘车间内完成精加工、清洗与密封封装,严格管控颗粒杂质与金属离子析出,广谱耐受强酸、强碱、双氧水、光刻配套氧化剂等各类电子级腐蚀性化学品。产品长期最高使用温度可达 200℃,额定工作压力 0.7MPa,适配高温药液循环、热超纯水输送等液态工艺工况,符合洁净产线严苛的污染管控标准。

日本PILLAR皮拉P-PMU穿板直通接头,实现舱板隔离式洁净管路贯通方案

产品延续皮拉成熟的无垫片压入套筒密封技术,装配过程无需对管材扩口加工,搭配原厂专用工装即可完成套筒压入装配。依靠套筒均匀抱紧管壁形成均匀密封面,摒弃 O 型圈、密封油脂等附加密封辅料,从源头禁止密封辅料溶出污染制程流体。该密封结构具备良好抗振性能,支持多次拆装维护,反复拆装后密封性能稳定可靠,降低现场装配难度,减少人为装配失误带来的漏液隐患。

接头内部流道平滑过渡,流体滞留死角少,药液切换过程中残留量低,有效降低不同药剂切换时的交叉污染风险。本体结构紧凑,板面安装占用空间小,锁紧定位稳定,不易因为管路拉扯、振动发生松动移位。产品出厂完成标准化洁净清洗,洁净包装开箱即可直接投入高等级洁净车间使用,无需二次清洗处理。

作为 SUPER300 P 系列的重要配套件,P-PMU S300 与此前发布的 P-U 直通、P-FC 内螺纹接头、P-MRT 外螺纹侧三通、P-RUE 变径弯头全部兼容,统一压入装配工艺与配套工装,便于流体工程师统一选型规划,简化项目配管设计、现场施工以及备品备件管理,降低后期运维成本。

PILLAR 皮拉持续深耕氟树脂高纯流体连接件领域,持续针对半导体与 FPD 湿法制程各类细分配管痛点持续迭代产品。P-PMU S300 穿板直通的推出,补齐跨舱隔板管路贯通方案,和系列其他接头互相搭配,覆盖管路延长、分流、螺纹转接、变径换向、舱体穿墙等多样化配管需求,为高纯流体系统提供一套完整、低析出、高可靠的管路连接件选择,助力电子制造产线流体回路稳定运行。

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