新品资讯 | 常温可原位再生，加拿大 NuPure PF Series 超高纯气体纯化滤芯

新品资讯 | 常温可原位再生，加拿大 NuPure PF Series 超高纯气体纯化滤芯

近期，理科研推出了加拿大 NuPure UltraPure PF Series 一体式 POU 超高纯气体纯化过滤器，‍PF Series 是 NuPure 主打终端一体式纯化 + 颗粒过滤二合一的 POU（Point-of-Use）超高纯气体纯化器，把气体纯化单元与 0.003μm 纳米金属烧结滤芯集成在单筒内，替代传统 “纯化器 + 后置过滤器” 两路串联方案，节省管路空间、降低压降、减少泄漏点。

核心特点

1. 一体化结构：金属吸气剂（Getter）纯化介质 + 内置 Nanometal 0.003μm 烧结不锈钢滤芯（9log 颗粒截留效率），一步同时去除气态杂质与微粒

2. 出气纯度：H₂O、O₂、CO、CO₂、CH₄等杂质降至 sub‑ppb（低于 1ppb） 级别

3. 流路材质：标准 316L SS（电抛光＜10Ra）；可选 316L VAR（＜5Ra）、哈氏合金 C‑22、镍材质，适配腐蚀性特种气体

4. 流量规格：标准 PF：0~100 slpm；大流量版本为 XL Series；高压款最高支持 3000 psig（适合气瓶充装）

5. 适配气源：氮气 / 氩气等惰性气体、氢气、氢化物、酸性气体、氧气等多种工艺气体

6. 运行方式：可常温工作，支持原位再生，寿命长；也可集成在 Omni 加热型终端纯化模组里使用

典型应用场景

• 半导体工艺设备、晶圆制造（机台终端供气）

• 气体分析、零气 / 校准气、分析推车

• 高纯焊接保护气

• 特种气体气瓶充装厂

• 科研、光学、FPD、精密检测实验室

同系列区分（NuPure 产品线）

• PF：纯化 + 0.003μm 过滤器一体款（本系列）

• XL：大流量纯化芯（不带内置滤，可外接过滤器）

• Eliminator CA/CG：常温催化纯化器，PF 结构是它的带滤选配版本

• Omni 系统：集成 PF/XL 芯、加热、保温、阀组的成套终端纯化单元