日本Atomax喷嘴AM系列半导体晶圆精密喷涂 AM6/AM12/AM25/AM45 特点介绍

通过微量精密喷雾，即可获得平均粒径约5μm的超细颗粒。它有一个非常小的喷嘴，可以与20-750瓦的空气压缩机一起运行。

主要用途包括表面薄膜涂层、科学和医疗领域的极微量喷涂以及房间和各种设施的灭菌和消毒。

AM6和12型适合以极低的流量喷射细颗粒。压缩气体流量也比传统喷嘴小。主要应用包括半导体晶圆精密喷涂、电子元件及功能材料制造过程中的薄膜形成、喷涂、镀膜等。

日本Atomax喷嘴AM系列半导体晶圆精密喷涂 AM6/AM12/AM25/AM45 规格参数

アトマックスノズルCN CNP型は、大流量噴射に適したノズルです。液剤の吐出口径は3.5mmから5.6mmと非常に大きく、高粘度液剤でも目詰まり、前垂れ、ボタ落ちも無く微粒化することができます。特にCN型は、液剤を吸上げる自吸圧力が高いため作業条件によっては、ポンプレスで使用することができます。

CN CNP CNW型は、構成部品にOリングを使用しておりませんので使用液剤の制限が広く、また高温環境の雰囲気での運転に適しております。

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