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Batch式高真空蒸发设备 EI 系列是一种*的设备,专门用于在基板上形成金属膜或氧化物膜。该设备具有以下显著特点和优势:
高真空环境:EI 系列设备能够提供高真空环境,确保蒸发过程中的膜层质量。高真空条件下,杂质含量减少,膜层纯净度更高,适用于高精度的研究开发以及少量生产。
多种材料蒸发:该设备可以蒸发多种材料,包括金属、ITO(铟锡氧化物)以及二氧化硅等。这使得EI系列设备在不同应用领域中具有广泛的适用性,从电子元件到光学元件的制造,都可以轻松应对。
集中控制:通过操作面板进行集中控制,实现了抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作。操作界面友好,易于设置和调整工艺参数,提高了工作效率和操作的便捷性。
适用于研究开发及少量生产:EI 系列设备特别适合于实验室研究开发和少量生产需求。其灵活的工艺参数调整能力和高质量的成膜效果,使其在新材料研究和工艺开发中成为理想选择。
蒸发材料
金属:EI 系列设备能够蒸发多种金属,如铝、铜、金、银等,用于制造高导电性和高反射率的金属膜。这些金属膜广泛应用于电子、光学和装饰性领域。
ITO(Indium Tin Oxide):ITO 膜具有优异的导电性和透明性,广泛用于制造透明导电膜,如触摸屏、液晶显示器和太阳能电池。EI 系列设备能够精确控制ITO 膜的厚度和均匀性,确保其优良的电学和光学性能。
二氧化硅(SiO2):二氧化硅膜常用于制造绝缘层和光学镀膜。EI 系列设备在蒸发SiO2 方面具有高稳定性,能够形成均匀、致密的膜层,适用于半导体和光学元件的制造。
应用场景
电子行业:在电子元件制造中,EI 系列设备可以用于制造各种金属连接膜和透明导电膜,提升元件性能和可靠性。
光学行业:在光学元件制造中,该设备可以蒸发高质量的二氧化硅膜和金属反射膜,增强光学性能和耐用性。
研究开发:在新材料和新工艺的研究开发中,EI 系列设备提供了高度的灵活性和精确控制,是科研人员的理想工具。
Batch式高真空蒸发设备 EI 系列凭借其高性能、多功能性和易操作性,成为科研和生产中的重要设备。无论是新材料研究还是少量生产需求,该设备都能提供可靠的解决方案。
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