等离子体电流

0-30 mA

功率

30W

辉光放电头极性

正极负极可续

样品台

Ø75mm，可存放25 x 75mm玻片

样品台高度

1-25 mm可调

处理延迟时间

0-14411 sec.

处理时间

0-900 sec.

样品室大小

Ø120 x 100mm 高

进气孔

2 个Ø6 mm 进气孔

高压真空联锁

硬件，软件双重联锁

真空控制

Pirani 规控制, 真空范围：大气压~0.01 mbar

工作真空范围

1.1 - 0.20 mbar

系统显示

具有LED灯光的3" 触摸，并且有5个功能键

操作模式

自动编程 (可编4个用户程序)

尺寸

305 长 x 292 宽 x 230mm 高

重量

6.26 kg

GD4真空泵（可选）

337 长 x 138 宽 x 244mm 高

重量

11 kg

真空泵性能

2.5 m3/hr, 极限真空0.03 mbar

电源要求

230V 50Hz, 10A