技术规格：

样品仓尺寸：   120 x 120mm（高）   (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构

溅镀材料：Bradley   型高纯度碳棒   (6.15mm, [1/4"])

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最

大180A，配有过流保护

样品台：可放置12 个标准 SEM 样品座，高度可在   60mm 内调节

模拟计量：真空   Atm - 0.01mb   电流: 0 - 200A

厚度监测器：   MTM-10 高精度厚度监测器(选配)

控制方式：   自动蒸镀控制，使用可编程电压控制和计时；可选择手动操作或自动控制

数字计时   (0 – 30 秒)，数字电压设定   (0.1 to 6.0V)

电源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)