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YAMAMOTO山本镀金 晶圆用高性能电源 原装
YAMAMOTO山本镀金 晶圆用高性能电源 原装
A-57-15101D
除了赫尔槽之外,这是一款高性能可编程电源,还可用于电镀 4 至 12 英寸晶圆。
虽然不能连接到PC,但主机具有可编程功能,因此可以逐步改变电流。
*从YPP15101C开始,加热器传感器插入部的位置(移到前面)、加热器电源线和连接方法已发生变化。
输入电压 | AC100V±10% |
频率 | 50/60Hz±5% |
输出电压/输出电流 | DC0~15V,0~10A |
最小分辨率 | 10mV/10mA/1mC |
温控功能 | AC100V,1kW(ON/OFF,PID控制) |
定时器功能 | 时间(秒)、积分电流(库仑) |
外形尺寸(安装尺寸) | 396(深)x210(宽)x221(高)mm(不含突出部分) |
体重 | 约7.6公斤 |
包括电源功能、温度控制功能、PC控制、电镀实验预测(*)、数据收集分析(*)以及带有扩展功能插槽的控制软件Plate Laboratory® (*)
除了赫尔槽之外,这是一款高性能可编程电源,还可用于电镀 4 至 12 英寸晶圆。
虽然不能连接到PC,但主机具有可编程功能,因此可以逐步改变电流。
*从YPP15101C开始,加热器传感器插入部的位置(移到前面)、加热器电源线和连接方法已发生变化。
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