日本Atmax二流体喷嘴在半导体的应用

日本Atmax二流体喷嘴  AM6/AM12

通过从极少量开始精确喷涂，可以获得平均粒径约为5μm的超细颗粒。它是一个非常小的喷嘴，可以使用20 至750瓦的空气压缩机进行操作。主要用途是表面薄膜涂层，科学

和医疗领域的极少量喷涂，室内和设施的杀菌消毒。

主要应用包括在半导体晶圆上的精密喷涂，在电子零件和功能零件材料的制造过程中进行极少量的喷涂、喷涂和涂覆 精密涂层由于可以雾化和喷射少量液体，因此可以在半导体和电子元件制造过程中通过喷涂形成薄膜。

与其他喷涂系统相比，喷涂工艺易于控制，设备配置也很简单。它的特点是使用一个喷嘴的条件范围很广，从厚涂层到薄膜。

精密设备清洗

尖锐的粒度分布使其适用于需要度的清洁。与常规喷嘴相比，Atmax喷嘴雾化所需的冲击流速较小，因此冲击力小且射流流速适中。

使用特的液体剂进行涂层工作

有两个主要组成部分。标准喷嘴材料是SUS316L，因为它是非常简单的组件结构，但是可以使用与使用环境相匹配的材料进行制造。另外，在液体接触部分中不使用O形圈。

使用细颗粒的加工工作

可以容易地连续注入包含固体的浆液。为了通过喷雾获得雾化，从小孔口喷射是通常的理论，但是Atmax喷嘴能够雾化大直径的喷射。