KELK 是****的半导体制造温度控制设备制造商，在用于温度控制的热电模块（珀尔帖元件）方面，KELK 参与了从材料到模块、热交换器和应用设备的开发、制造和销售。基于特别的热电元件技术，自1966年成立以来，KELK 一直秉承“制造温度，用温度制造温度 ”的使命，为不同客户提供各种产品。

  CS 加热器（Clean & Sate Heater）是一种紧凑型在线加热器，用于高温加热半导体制造工艺中用于清洗、抗蚀剂剥离等的各种果液。 所有润湿部件均由高纯度石英玻璃制成，加热器使用高输出卤素灯发出的近红外辐射，是一种无需担心杂质污染的高效加热系统。

  CS加热器特点有：

• 清洁。加热系统采用卤素灯辐射加热系统，润湿部分采用高纯度透明石英双层结构，加热系统温度较低，可*大限度地减少玻璃成分的洗脱，不会因加热器傍边破损而产生化学污染的风险。

• **性。警报功能确保**。 结合专用控制器，可提供各种**功能和**特性、

• 结构紧凑。设计紧凑，易于集成到湿站等设备中。

• 加热效率高。加热效率高达 90% 以上，实现了节能运行，能源损耗极少。

• 加热器更换方便。加热器（卤素灯）可从一个方向轻松更换，无需拆卸系统管道。

• 出色的控制和操作性。通过 PID 控制实现高精度温度控制，各种操作和报告都集中在控制器的前面板上，并标配外部馈入功能，用户可根据系统配置选择使用控制器。

• LSI 制造过程中高温加工液的加热控制。扩散前清洗液（氨周水、盐酸渗透液）/氮化膜去除液（磷酸）/抗蚀剂剥离液（硫酸周水）。

• 其他领域各种化学溶液的加热控制。镀金、前处理溶液、清洗溶液等电镀溶液

  今后，KELK将继续结合小松集团的集体力量，作为热电元件和应用产品的综合制造商，以及负责精密温度控制的值得信赖的专业团体，以先进的技术满足日益复杂的客户需求。