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日本NAPSON便携式电阻测定器EC-80P产品介绍
2026年09月18日 15:49
来源：深圳市秋山贸易有限公司
半导体硅片、太阳能电池片及ITO导电薄膜的电阻率与膜电阻管控中，传统四探针法需探针接触试样表面，薄晶圆与脆性镀层易被扎伤，且仅能逐点接触测量，无法在线扫描大尺寸厚料。EC-80P是日本NAPSON（ナプソン株式会社）推出的便携式非破坏式电阻测定器，采用涡流法原理，手持探头轻触试样表面即可完成单点测量，无需物理穿刺，适用于研发与来料检验现场。
本机测量对象涵盖硅、多晶硅、SiC等半导体与太阳能材料，碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等新素材，金属薄膜、ITO等导电薄膜，以及GaAs、GaN、InP等化合物半导体。试样尺寸不小于φ20mm且具有平面即可。全探头合计测量范围：电阻率1mΩ·cm至200Ω·cm，シート电阻10mΩ/□至3kΩ/□。分档探头包括Low（0.01至0.5Ω/□）、Middle（0.5至10Ω/□）、High（10至1,000Ω/□）、S-High（1,000至3,000Ω/□）及Solar Wafer（5至500Ω/□）。本体W255×D275×H95mm、约4kg，探头部φ20×80mm，最多可同时接两根探头，电阻率与シート电阻模式一键切换。
选购时须先锁定被测膜阻值范围，再选配对应量程探头；如需多点批量测试，另配半自动台架NC-80MAP可实现阵列测量。本机为手持单点机型，布点仍需人工操作。与接触式EC-80、双探头DUORES及超低阻PVE-80同属NAPSON产品线，功能定位各有侧重。本机并非手持万用表，而是专用非破坏涡流电阻测定设备，具体参数以正式规格书为准。
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