产品介绍！日本NPM日脉 SPS系列精密滑台 SPS100TD-050

产品介绍！日本NPM日脉 SPS系列精密滑台 SPS100TD-050

SPS100TD-050，SPS100TD-100，SPS100TD-150

SPS100TD-050 是日本 NPM（原 Nippon Pulse Motor）SPS 纳米定位系列超薄型精密直线伺服滑台，采用无铁芯轴电机与交叉滚柱导轨一体化设计，兼顾伺服级速度与压电级精度，适合半导体检测、光学对位等亚微米级定位场景。

参数项规格说明

系列/型号SPS100 系列 / SPS100TD-050

有效行程50 mm（±25）

内置电机SX100T-DC-X0 无铁芯直线轴电机

额定推力6.8 N

加速推力27 N

编码器分辨率增量式 1~0.0025 μm；绝对式 0.01/0.005 μm

重复定位精度≤±0.3 μm

真直度≤2 μm/25mm

最大负载30 kg

滑台尺寸140×107×26 mm

可动部质量0.57 kg

滑台质量0.97 kg（不含线缆）

驱动电压DC24~48V

总结

SPS100TD-050 的核心优势在于 26mm 超薄机身与 ±0.3μm 重复定位精度的组合。无铁芯轴电机消除齿槽效应，配合交叉滚柱导轨实现零背隙、低发尘、免维护的平滑运动，适合洁净室连续运行。同系列提供 100mm、150mm 行程版本，推力可通过双电机并联升级。选型时需注意：需另配伺服驱动器（推荐松下 MINAS 系列），工作环境要求 0~40℃、20~80%RH 无凝露。

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。