INFICON 备件 TL4-6

产品描述

INFICON TL4-6 为可调式氦气标准校准漏孔，属于氦质谱检漏仪配套核心标定备件，集成氦气储气瓶、调压表、截止阀、石英毛细管漏源与 KF 真空法兰，用于真空检漏设备的定期校验、灵敏度标定、检漏程序验证，支持真空测试与嗅探检漏两种工作模式。该漏孔自带氦气储气腔，可调节输出漏率，配备可溯源的计量校准证书，是半导体、真空设备、制冷、新能源行业检漏工位的标准配套器件，可配套 INFICON 全系列氦检仪使用，可长期稳定输出标准氦泄漏信号，保障检漏设备检测精度稳定可靠。

型号释义

• INFICON：品牌，英福康，真空检漏与分析仪器厂商

• TL：Test Leak，标准测试漏孔 / 校准漏孔

• 4-6：代表该型号漏率调节区间 10⁻⁴ ~10⁻⁶ mbar・l/s，标称漏率 5×10⁻⁶ mbar・l/s

技术参数

1. 漏孔类型：石英毛细管式校准漏孔

2. 工作介质：氦气 5.0（纯度 99.999%）

3. 漏率调节范围：10⁻⁴ ~10⁻⁶ mbar・l/s

4. 标称漏率：5×10⁻⁶ mbar・l/s

5. 标称漏率不确定度：±10%

6. 连接法兰：DN16 ISO-KF 真空法兰

7. 压力表量程：-1~+15bar

8. 储气瓶容积：1L，充装压力 12bar

9. 最大允许入口压力：12bar

10. 温度系数：可忽略，温度变化对漏率影响极小

11. 本体重量：不含气瓶 300g；含气瓶 425g

12. 计量资质：可提供 DAkkS 可溯源校准证书

13. 功能模式：真空法检漏标定、嗅探法检漏标定

14. 结构组成：储氦瓶、供气截止阀、放气螺钉、压力表、毛细管漏源本体、输出截止阀、KF 法兰、安装支架

工作原理

TL4-6 依靠储气瓶提供稳定氦气源，通过阀门调节内部压力，氦气经由精密石英毛细管形成稳定可控的标准泄漏流量。毛细管结构特性保证泄漏流量与压力呈对应关系，压力表实时监测瓶内压力，对照出厂校准曲线即可设定目标漏率。将该漏孔接入氦质谱检漏仪，检漏仪读取氦信号，以此校验检漏仪灵敏度、确认设备检测下限，完成检漏系统性能验证。完成标定后可关闭阀门，保存内部氦气，实现重复多次使用，气瓶耗尽后可重新充装氦气。

应用场景

广泛应用于半导体真空腔体、新能源电池壳体、制冷压缩机、真空阀门、压力容器、汽车零部件等氦检漏工位，用于氦质谱检漏仪的定期校准、设备验收、检漏程序验证、车间检漏系统日常点检，适配生产线在线检漏台以及实验室真空检测设备，同时可用于嗅探式检漏仪的单点标定。

安装步骤

1. 检查 TL4-6 外观、压力表状态，确认气瓶无泄漏，核对配套校准证书有效期。

2. 清理检漏仪测试口 KF 法兰端面，去除灰尘、金属碎屑，放置 KF 密封圈。

3. 将 TL4-6 的 DN16 KF 法兰对准检漏仪测试接口，使用卡箍均匀锁紧。

4. 缓慢打开供气截止阀，观察压力表，对照校准曲线，调节至目标漏率对应的压力值。

5. 打开漏孔输出阀，启动氦检仪，读取检漏仪检测数值，完成标定作业。

6. 标定完成后，先关闭输出截止阀，再关闭供气阀，释放管路残余气体，松开 KF 卡箍，拆下校准漏孔。

7. 将 TL4-6 放置于干燥、避光常温环境妥善存放，避免撞击、剧烈震动。

替代说明

选型替换时，需要匹配10⁻⁴ ~10⁻⁶ mbar·l/s漏率区间，采用毛细管式氦标准漏孔，接口 DN16 KF，同时需配套可溯源计量证书。替换后需要在同一台氦检仪上比对漏率读数，确认标定结果一致。更换前核对检漏仪的工作模式，确认兼容真空与嗅探两种标定工况。

相关关键词

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