加拿大 NuPure C3 陶瓷过滤器:半导体 UHP 气体使用点过滤核心部件
加拿大 NuPure C3 陶瓷过滤器:半导体 UHP 气体使用点过滤核心部件
品牌:NuPure(加拿大渥太华 Ottawa),C3 系列陶瓷超纯气体颗粒过滤器,半导体超高纯气体管路用过滤器
型号编码拆解
C3:C3 Series 陶瓷管式气体过滤器系列
84:结构规格代码
10:额定流量 10 slpm(9 LRV 效率下)
T:Tube type 管式陶瓷滤材
SS:壳体材质 Stainless Steel
250:最大压力 2500 psig
V:VCR 接头
B:版本后缀
核心参数
滤材:多层管式陶瓷滤芯(三层梯度孔径)
过滤精度:0.003 μm
截留效率:9 LRV(99.9999999%)
额定流量:10 slpm @9LRV
外壳:316L VAR 真空电弧重熔不锈钢(高纯半导体级)
最高耐压:2500 psig
接口:1/4" VCR
外形尺寸:A=3.31 in,B=0.83 in
产品特点
陶瓷刚性滤芯,压力 / 流量波动下无掉颗粒(无释尘)
放气量低、气体置换速度快,适合 UHV / 超高纯工艺气路
耐腐蚀性强,适配各类半导体特种气体
无有机物析出,适合 CVD、刻蚀、外延等半导体制程
典型应用
半导体、FPD、分析仪器超高纯气体管路过滤:硅烷、氨气、氯化氢、氩气、氮气等特种气体颗粒拦截
NuPure 总部:加拿大渥太华 Ottawa,专注超高纯气体净化器、陶瓷气体过滤器,半导体气体管路老牌品牌
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