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加拿大 NuPure C3 陶瓷过滤器:半导体 UHP 气体使用点过滤核心部件

2026年10月27日 11:56 来源:理科研贸易(苏州)有限公司

加拿大 NuPure C3 陶瓷过滤器:半导体 UHP 气体使用点过滤核心部件


品牌:NuPure(加拿大渥太华 Ottawa),C3 系列陶瓷超纯气体颗粒过滤器,半导体超高纯气体管路用过滤器

型号编码拆解

  • C3:C3 Series 陶瓷管式气体过滤器系列

  • 84:结构规格代码

  • 10:额定流量 10 slpm(9 LRV 效率下)

  • T:Tube type 管式陶瓷滤材

  • SS:壳体材质 Stainless Steel

  • 250:最大压力 2500 psig

  • V:VCR 接头

  • B:版本后缀

核心参数

  • 滤材:多层管式陶瓷滤芯(三层梯度孔径)

  • 过滤精度:0.003 μm

  • 截留效率:9 LRV(99.9999999%)

  • 额定流量:10 slpm @9LRV

  • 外壳:316L VAR 真空电弧重熔不锈钢(高纯半导体级)

  • 最高耐压:2500 psig

  • 接口:1/4" VCR

  • 外形尺寸:A=3.31 in,B=0.83 in

产品特点

  1. 陶瓷刚性滤芯,压力 / 流量波动下无掉颗粒(无释尘)

  2. 放气量低、气体置换速度快,适合 UHV / 超高纯工艺气路

  3. 耐腐蚀性强,适配各类半导体特种气体

  4. 无有机物析出,适合 CVD、刻蚀、外延等半导体制程

典型应用

半导体、FPD、分析仪器超高纯气体管路过滤:硅烷、氨气、氯化氢、氩气、氮气等特种气体颗粒拦截

NuPure 总部:加拿大渥太华 Ottawa,专注超高纯气体净化器、陶瓷气体过滤器,半导体气体管路老牌品牌

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