photomask-光刻掩膜版,光罩,光掩模
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    产地
  • 上海上海市

    所在地区
  • 2024-08-29 09:37

    更新时间
类型
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华小姐
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产品详细

光刻掩膜版photomask是微电子领域高精度光刻掩膜板,光罩、光掩模和X射线成像感光板,采用卤化银感光物质,也可用于同步加速器设备中的布拉格衍射X射线断层摄影和X射线放射成像,性能不低于Agfa(Millimask)和柯达HR-P,TE板。
感光物质寿命:12个月
成像观察寿命:18个月。
光刻掩膜版具有高分辨率,高耐久性和*异的乳剂层与玻璃基底的粘附性能,具有2.5微米的摄像分辨率。
光刻掩膜版标准尺寸***406×300mm,玻璃衬底厚度为2.5mm。 所有光刻掩膜版都配有防晕涂层,我们也可根据客户要求定制不同尺寸的掩膜版。
光刻掩膜版特性

平均敏感度,ISO
负性过程:
反转过程:
0.02
0.04
对比度不小于5
***大密度不小于3
***大感光波长525nm
感光光谱范围400-565nm
雾密度不大于0.02
分辨力能力3,000mm-1
加工后乳液层强度0.9kg力
乳液层形变温度55℃













订购规格:
63x63mm-30片/包
51x254mm-12片/包
76x76mm-30片/包
102x102mm-30片/包
102x127mm-25片/包
127x355mm-12片/包

光刻掩膜版
63x63mm尺寸包装图
光刻掩膜版
102x127mm规格的包装图
光刻掩膜版
180x240mm及其以上尺寸包装图
处理和处理建议
使用深绿色滤光片(透射区域-530nm及以下)在间接非光化光中开封,加工。 加工溶液温度-20±2℃。 储存条件:湿度65%和12-15摄氏度。

VRP材料制作掩膜版的建议工艺参数
负过程溶液温度
曝光

显影研制在蒸馏水中稀释的浓缩VRP显影剂1:5,4-5min20
冲洗水3分钟17±2
固定固定器5-10分钟20
洗涤水3分钟17±2
***终洗涤水用润湿剂(Agepon)1min17±2
干燥慢气20±4
冲销过程
曝光

显影在蒸馏水中稀释的浓缩VRP显影剂1:1.7,4.5min20
冲洗水洗3分钟17±2
漂白漂白,1.5分钟20
冲洗水洗3分钟17±2
增亮增亮剂3分钟20
冲洗水冲洗5分钟17±2
照明500W灯,距离乳液70厘米,1分钟
第二显影稀释在蒸馏水中的显影浓缩VRP显影剂1:5-3分钟20
冲洗水冲洗1分钟17±2
固定固定器,2分钟20±4
冲洗水洗3分钟17±2
***终洗涤带润湿剂的水(Agepon)1min17±2
干燥慢气20±4

用于X射线层析成像和放射照相术的VRP光刻掩膜版材料处理方案
程序化学制品温度
曝光

显影柯达RP X-OMAT显影,5分钟20
洗涤2分钟17±2
固定柯达RP X-OMAT LO固定器,5分钟20
洗涤水10分钟17±2
干燥慢气20±4




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