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ULVAC 爱发科（日本）完整介绍以及产品一览
2026年05月15日 16:57
来源：玉崎半导体（深圳）有限公司
ULVAC 爱发科（日本真空技术株式会社），1952 年成立，是全球真空行业、日系真空龙头，真空泵、真空计、镀膜设备、检漏仪、MFC 流量控制器全品类覆盖，半导体、面板、光伏、锂电行业占有率高，和 EBARA 荏原同为日系干泵两大头。
一、品牌核心定位
全球真空技术全产业链厂商，从真空泵、真空测量、真空阀门、检漏仪到半导体专用真空系统、镀膜设备，一站式真空解决方案，半导体、SiC、化合物半导体、显示行业标配品牌。
二、核心优势
全系列真空产品齐全：油旋片泵、干泵、罗茨泵、分子泵、检漏仪、真空计、MFC、真空阀
耐腐蚀性能强：耐蚀涂层、镍基材质，适配 HCl、HI、氟化物、碘蒸气等第三代半导体腐蚀气体
半导体级洁净：SEMI 标准，低粉尘、低泄漏，适配刻蚀、CVD、PVD、MOCVD、SiC 外延
稳定性高、维护周期长，日系产线兼容性强，可与 EBARA、KOFLOC、SIBATA 配套使用
国内布局：爱发科中国，深圳、上海、大连有工厂 / 服务中心，售后响应快
三、主力产品线（工业 / 半导体常用）
1. 干式真空泵（对标 EBARA 荏原，半导体主力）
LR 系列 罗茨干泵：LR80/180/360，中小抽速，风冷，Load‑Lock、PVD、检测设备
CR 系列 螺杆干泵：CR30/40/60，大抽速、水冷，CVD、刻蚀、MOCVD、SiC 产线主力
VS 系列 耐腐蚀干泵：专为腐蚀气体设计，适配氯化氢、碘化氢、氟气，第三代半导体优选
特点：无油、低振动、长寿命，极限真空稳定
2. 分子泵（超高真空）
UTM 系列涡轮分子泵，用于分析仪器、质谱、超高真空腔体
3. 油式真空泵（通用工业）
GHD 系列旋片泵，用于实验室、真空包装、普通真空工艺
4. 真空测量与控制
皮拉尼真空计、电容薄膜真空计、电离真空计
MFC 质量流量控制器：和 KOFLOC、HORIBA 对标，半导体工艺气体控制
真空阀门、波纹管、检漏仪（UL1000 系列氦质谱检漏仪）
四、重点应用行业
半导体 & 第三代半导体（SiC/GaN）
刻蚀、CVD、PVD、外延、退火、Load‑Lock、腐蚀工艺尾气抽取
显示面板 OLED/LCD
溅射、蒸镀、真空镀膜
新能源光伏、锂电
镀膜、真空干燥、注液、封装
科研、质谱、电子显微镜、真空冶金
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