FLUORO福乐 杠杆锁手动镊子E100-200L技术参数

FLUORO福乐 杠杆锁手动镊子E100-200L 技术参数

   E100-200L是日本FLUORO福乐的一款 8 英寸导电杠杆锁式手动晶圆镊子。它属于半导体行业中处理晶圆（硅片）的专用手动工具，主要设计用于在无尘室中安全、高效地夹持和搬运 8 英寸（200mm）的晶圆。

• 省力杠杆锁止结构：这是该工具最核心的设计。通过杠杆和棘轮机构，捏合夹持晶圆后可以“一键锁死”夹紧状态，操作者无需持续用力捏合。这能显著缓解长时间操作的手部疲劳，并保证夹持力恒定，避免因人为操作差异影响产品。

• 安全的两点式边缘接触：镊子头部仅通过两个接触点触碰晶圆的外缘（侧边）。这种设计不接触晶圆正面的图形功能区域，能大程度地降低划伤和颗粒污染的风险。

• 防静电导电PEEK材质：型号前缀“E”代表其为导电PEEK（聚醚醚酮）材质。通过在PEEK树脂中混入碳纳米管（CNT），使其具备优异的导电性，能有效泄放静电（ESD），保护对静电敏感的电子器件。同时，PEEK材质也保证了高耐热性（连续工作温度可达130℃）、优异的耐化学性和高机械强度。

• 纯机械结构，无需气源：依靠机械结构工作，无需连接真空泵或气管，操作非常简单，适用于实验室、机台应急取片等多种场景。

技术规格

• E：代表材质为 导电PEEK（防静电）。

• 100：代表产品系列。

• 200：代表适配 8英寸（200mm） 的晶圆。

• L：代表 杠杆锁止（Lever lock） 结构。

应用场景

• 主要应用场景：广泛应用于半导体制造、LED、光通信、科研实验室等领域。具体用于晶圆的外观检验、实验室取样、制程中转、长距离转运等环节。

• 使用限制：此工具为 “干法” 工况设计。严禁将其浸泡在任何化学药液中使用，湿法环境应选用FLUORO的F系列真空吸笔。