FLUORO福乐 导电型真空吸笔C003技术参数
FLUORO福乐 导电型真空吸笔C003技术参数
C003 是日本 FLUORO(福乐)品牌 C 系列(导电型)中的一款“自锁保压款”抗静电真空吸笔。它专为半导体、精密电子等无尘环境设计,用于安全、洁净地拾取和转移晶圆、芯片等精密部件。
独特的自锁保压功能:这是 C003 与同系列 C001、C002 的最大区别。它搭载了独立的物理遮断闩锁开关。
C001 (常闭 NC):按住按键产生吸附,松开即释放。
C002 (常开 NO):常态保持吸附,按下按键释放。
C003 (自锁保压):常态持续吸附,按压笔身按钮可释放工件。其后端带有一个锁止开关,拨动开关即可长期维持真空吸附,无需持续按压。这个设计适合晶圆长距离转运、样品静置校准等需要长时间持料的场景。
全面的 ESD 防静电设计:笔身采用东丽碳纤维增强导电尼龙,吸头采用导电 PEEK 材质。整套工具形成连续静电泄放通路,表面电阻率稳定在 10⁶ ~ 10⁸ Ω 区间,可有效防止静电击穿敏感器件。
出色的洁净与安全性:
低发尘、无金属离子析出,适配 Class 10 至 Class 1000 的洁净室环境。
吸头采用镜面抛光的导电 PEEK 材质,质地柔韧,拾取晶圆时不会产生划痕或碎屑。
优良的人机工学与耐用性:
笔体纤细轻量化,自重仅 23~28克,长时间手持操作不易疲劳。
内部阀门采用氟树脂材质,气密性优异,高频使用下依然稳定可靠。
型号解读
| 型号组成部分 | 选项示例 | 含义解释 |
|---|---|---|
| 基础系列 | C003 | 代表C系列(导电型),“NO+SW”阀门系统(常开,带吸力切断按钮) |
| 笔身设计 | -D | 标准直型接头 |
| 也可能代表“带角度”或“弯曲”款式 | ||
| 接头类型 | -X | 球状旋转接头,可360度旋转,方便调整角度 |
-Y | 固定式接头 | |
| 笔身长度 | -106 | 笔身长度为106mm |
| 吸嘴规格 | -95 | 吸嘴型号代码,用于适配不同尺寸的工件 |
-CP | 可能代表某种特定吸嘴或连接件规格 |
技术规格(以常见型号为例)
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 产品类型 | 抗静电真空吸笔 / 真空镊子 |
| 操作方式 | 常开型 (NO),带吸力切断按钮 (SW) 及独立锁止开关 |
| 主体材质 | 碳纤维增强尼龙树脂(如东丽卡) |
| 吸头材质 | 导电 PEEK(聚醚醚酮) |
| 表面电阻率 | 10⁶ ~ 10⁸ Ω |
| 重量 | 约 23g ~ 28g |
| 典型长度 | 约 234mm ~ 280mm(取决于型号) |
| 适配管径 | Φ3×5 或 Φ4×6 |
应用场景
半导体制造:用于 5英寸、6英寸、8英寸 等晶圆的无损搬运与转移。
精密电子:拾取和放置芯片、LED、电阻、电容等微小易损元件。
其他领域:也适用于光学元件、陶瓷薄片、光伏芯片等需要防静电或精细化操作的场景。
使用注意事项
仅限干式环境使用:C 系列导电尼龙机身不耐强酸、强碱和有机溶剂,仅适用于干燥的无尘环境。
湿法工艺请选 F 系列:若需要在酸碱浸泡、湿法清洗等工序中使用,应选用 FLUORO 的 F 系列 PTFE 防腐真空镊子。
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